PLD
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【洞察】脉冲激光沉积(PLD)是重要薄膜制备技术 我国高端设备生产力需提升
薄膜材料可以广泛应用在半导体材料、微电子器件、光电子器件、超导材料、生物材料等领域,随着科技进步,薄膜材料的重要性日益突出,其技术与应用研究不断深入。脉冲激光沉积(PLD),也称为脉冲激光烧蚀(PLA),是利用高能量密度激光对靶材进行轰击,将轰击出来的物质沉积在衬底上,制备薄膜的一种技术
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