皮秒激光器开创微加工新天地

2012-11-07 10:38

　　透明材料的激光钻孔

　　玻璃的强度、化学惰性和高透明度是其在许多消费电子设备，如触摸屏、手持设备（平板电脑，智能手机等）和平板电视中广泛应用的原因。此外，未来的设备可能更多地依赖玻璃提供额外的结构强度，包括合并特征孔。但是，玻璃基板为了支撑更小、更轻的设备而变得越来越薄，传统的玻璃钻孔技术难以保持质量要求。尤其是，避免触摸屏边缘开裂和残余边缘应力非常关键，因为面板总是从边缘开裂，即使应力是施加到中心。皮秒激光器的高峰值功率可避免这个问题。

　　由于玻璃对可见光波长基本上是透明的，可以使用红外或紫外波长。为达到最大去除率，平均最高处理波长是1064 nm，而UV波长更适合于较薄玻璃面板。例如，图4显示在1 mm厚的D236T玻璃上使用1064nm皮秒脉冲钻出高品质、1 mm直径的孔。边缘没有微裂纹或侧壁断裂，这对手持设备非常理想。

图4 在1 mm的D236T玻璃上使用14W的1064 nm皮秒脉冲钻出一毫米直径的孔

　　皮秒激光器作为现有激光和非激光加工的替代品，在新兴应用中正获得越来越多的市场份额。

　　参考

　　1. T. R. Hebner et al.， "Ink-jet printing of doped polymers for organic light emitting devices，" Applied Physics Letters 72(5)， 519-521 (1998).

　　2. G. E. Jabbour et al.， "Screen printing for the fabrication of organic light emitting devices，" IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 7(5)， 769-773 (2001).

　　3. D. M. Karnakis et al.， "Ultrafast laser patterning of OLEDs on flexible substrate for solid-state lighting，" J. Laser Micro/Nanoengineering 4， 218-223 (2009).

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