Intel全球首个下单订购ASML最先进EUV光刻机

2022-01-19 17:21

1月19日，Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE：5200光刻机。

TWINSCAN EXE：5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。

从路线图来看，EXE：5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。

事实上，4年前，ASML的第一代高NA（0．55 NA）光刻机EXE：5000，Intel就是第一个下单的公司。不过当前的7nm、5nm芯片还并非是其生产，而是0．33NA EUV光刻机。

和0．33NA光刻机相比，0．55NA的分辨率从13nm升级到8nm，可以更快更好地曝光更复杂的集成电路图案，突破0．33NA单次构图32nm到30nm间距的极限。

外界预计，第一代高NA光刻机EXE：5000会率先用于3nm节点，至于EXE：5200，按照Intel的制程路线图，2025年至少是20A或者18A，也就是5nm和5nm＋。

此前，ASML发言人曾对媒体透露，更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1．7倍、同时密度增加2．9倍。未来比3nm更先进的工艺，将极度依赖高NA EUV光刻机。

Intel能抢到第一单，除了和ASML一致紧密合作外，当然也是因为“钞能力”，Gartner分析师Alan Priestley称，0．55NA下一代EUV光刻机单价将翻番到3亿美元（约合19亿元人民币）。

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