Gigaphoton
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日本Gigaphoton正建造准分子激光器工厂,未来产能翻一番
为半导体光刻应用提供准分子激光器的日本公司Gigaphoton表示,到2023年,该公司将把这种光源的生产能力提高一倍。
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半导体光刻用光源制造商Gigaphoton发布新型激光器
导体光刻用光源的制造商Gigaphoton宣布,公司已经开始发货新的KrF激光器“ G300K”,作为其GIGANEX系列的一部分,该系列使用半导体制造光刻光源。
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Gigaphoton发布新的DUV光源产品规划图
半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社宣布,为提高设备的工作效率,公司将制定新的产品规划图,以应对需求量不断高涨的半导体厂家的要求。
DVD 2017-11-16 -
Gigaphoton研发出稳定运行24小时的EUV扫描仪
日本半导体曝光设备用光源领域的大型厂商Gigaphoton称其EUV光源扫描仪实现了连续运行和稳定发射:激光驱动等离子光源原型实现了输出达108W,平均能量稳定性为0.5%的结果。
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