EUV

新型EUV光刻技术面世：实现大幅“降本增效”

近日，来自冲绳科学技术大学院大学（OIST）的Tsumoru Shintake教授提出了一项革命性的极紫外（EUV）光刻技术，该技术不仅超越了现有半导体制造的界限，更预示着行业未来的新篇章。

EUV 半导体 2024-08-06

两大巨头开设EUV光刻实验室！

日前，荷兰光刻机巨头ASML与半导体大厂imec宣布，双方将在荷兰费尔德霍芬（Veldhoven）共同设立了一家高数值孔径（NA）极紫外线（EUV）光刻实验室。

EUV 光刻机 2024-06-07

英特尔安装首台EUV制造工具，能发射比太阳还热的激光

芯片大厂英特尔宣布，已经完成了世界上第一台商用高数值孔径（NA ）极紫外光刻（ EUV）扫描仪的组装工作。

激光英特尔 2024-04-19

上海光机所在EUV和软x射线分束器方面首次取得进展

近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线分束器的设计与实验验证，该研究有望解决极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的分束器受限问题。

激光 2024-04-16

上海光机所在EUV和软x射线聚焦光场阵列调控和整形方面首次取得进展

近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线聚焦光场的阵列调控与整形，解决了极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的元器件受限问题。

激光 2024-03-06

美国的目的暴露了，夺下6台EUV光刻机推进2纳米，反超台积电

日前消息指光刻机巨头ASML预计明年量产10台第二代EUV光刻机，其中6台已确定被美国芯片企业Intel夺下，剩下的两台将由三星和台积电竞争，如此一来拿到更多第二代EUV光刻机的美国可望率先量产2纳米，反超台积电

台积电 EUV光刻机智能制造 ASML 三星 2023-12-22

倪光南说EUV光刻机不会困扰国产芯片，外媒：美国的算盘打错了

美国拉拢了日本、荷兰，从芯片设备方面进一步加码限制中国芯片，不过日前知名院士倪光南认为中国在存储芯片方面拥有自己的核心知识产权，不会受EUV光刻机的限制所影响。据了解目前全球主流的NAND f

国产芯片光刻机 EUV光刻机存储芯片三星 2023-06-21

ASML的EUV光刻机中，全球唯一激光器供应商，落户深圳

众所周知，目前全球仅有一家厂商，能够生产EUV光刻机，它就是荷兰的ASML。而之所以全球仅此一家，这是因为ASML将很多关键的厂商捆绑在了一起，比如德国光学公司蔡司（Zeiss），再比如美国的Cymer，再比如德国的通快集团（TRUMPF）等

ASML 光刻机 EUV 激光器蔡司芯片 2023-05-26

德国开发出紧凑型EUV激光模块：平均功率10毫瓦，成本效益更高

德国研究人员开发出了一种紧凑的极紫外（EUV）激光模块——可以用来产生特殊的EUV光，它不仅打破了以往EUV光实验只能在昂贵的大型研究设施中进行的限制，还带来了更高的成本效益。

EUV 激光 2023-03-28

新型EUV激光束面世：峰值功率接近兆瓦，可产生纳米级光波

美国研究小组通过发射飞秒激光并使之穿过充满气体的波导，成功地生成了非常紧凑、功率强大的极紫外辐射（EUV）光束。其峰值功率接近兆瓦，产生纳米级的光波，但整个设备可以放在一个中等大小的桌子上。

激光 2023-02-28

三星与ASML达成协议：采购下一代 High-NA EUV 光刻机，单价近 26 亿元

6 月 30 日消息，据 BusinessKorea 报道，三星电子副董事长李在镕于 6 月中旬结束了对欧洲的商务访问，此行他与 ASML 公司就引进该荷兰半导体设备制造商的下一代极紫外（EUV）光刻设备进行了会谈。

激光光刻机三星 ASML 2022-06-30

里程碑！通快第200台EUV光刻机光源已发货

德国通快集团在不久前完成了第200台EUV光刻机光源的发货。通快预计，在2022财年EUV业务销售额将大幅增加到6亿欧元。

通快 EUV光刻机 2022-02-15

Intel全球首个下单订购ASML最先进EUV光刻机

1月19日，Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE：5200光刻机。TWINSCAN EXE：5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）

Intel ASML 光刻机 2022-01-19

日立子公司推出用于EUV 3nm和5nm工艺的电子束检测系统

日立科学仪器宣布开发其电子束区域（Electron Beam Area）检测系统。该公司正逐步将EUV应用于5nm节点器件的量产和3nm节点器件的开发。

日立电子束印刷电路 EUV 2021-12-24

光刻机巨头ASML Q3业绩创纪录，EUV 销售额164亿元

第三季度净预订量为62亿欧元，其中包括22亿欧元（相当于人民币164亿元）的 EUV 销售额。

光刻机 ASML 2021-10-21

ASML 2020年营收140亿欧元：EUV光刻机销售增长60% 与通快携手共进

2020年，ASML设备销售额为103亿欧元，其中EUV光刻系统销售再创新高，全年销售31台，销售额达45亿欧元，同比增长60％，占设备销售额的43％。通快是ASML EUV光刻机光源的独门供应商，有关EUV应用的销售额同比增长了近20％，达4.6亿欧元。

ASML营收 EUV光刻通快 2021-01-21

通快财报解读：机床和激光事业部业绩双双下跌，EUV业务保持强劲

日前，德国通快集团发布了2019／20财年（截至2020年6月30日）业务报告。报告显示，通快集团的营收下降8％，至35亿欧元（2018／19财年：38亿欧元）。订单总额下降11％至33亿欧元（2018／ 2019财政年度：37亿欧元）

通快通快机床通快激光 2020-10-16

通快专访：光纤碟片激光器孰优孰劣？为何能占领EUV光刻机光源市场？

通快举办了一场精彩的新品发布会，包括碟片激光器、纳秒激光器、飞秒激光器以及新一代激光三维机床等在内的15项新产品完成“中国首发”。发布会结束后，OFweek激光网对通快中国激光事业部总经理黄哲进行了采访。

通快光纤激光器碟片激光器 EUV光刻 2020-07-16

ASML发布Q2财报，收购光学公司Berliner Glas加大力度生产EUV光刻机

近日，荷兰光刻机巨头ASML宣布计划收购光学公司Berliner Glas，以巩固关键部件的供应。ASML于当地时间7月15日刚公布第二季度业绩，相比第一季，ASML第二季度业绩显著提升，销售额相较第一季度强增长35％，达到33亿元，毛利率达到48．2％

ASML Berliner Glas 2020-07-16

深度解读通快财报：EUV是关键驱动美国取代中国成为第二大市场

德国通快集团发布了2018/19财年（截至2019年6月30日）业务报告。报告显示，尽管集团销售额再度保持增长达到37.8亿欧元（17/18财年为35.7亿欧元，增长6.1％），但订单总额减少了3.1％，为36.8亿欧元（17/18财年为38亿欧元）。

通快集团通快激光技术 2019-10-30

EUV或将决定半导体产业方向，通快加紧布局

近日，TRUMPF公司CTO及股东Peter Leibinger在谈到令人着迷的激光创新时重点提及极紫外光刻，也就是我们常说的EUV。

EUV 通快紫外激光器 2017-10-09

Gigaphoton研发出稳定运行24小时的EUV扫描仪

日本半导体曝光设备用光源领域的大型厂商Gigaphoton称其EUV光源扫描仪实现了连续运行和稳定发射：激光驱动等离子光源原型实现了输出达108W，平均能量稳定性为0.5%的结果。

Gigaphoton EUV 扫描仪等离子光源 2015-12-18