JK激光器在半导体行业应用汇总

2012-07-15 05:12

纳米管生产

　　纳米管在很多领域都有很大的潜力。他们尺寸小，结构有序，使其在许多领域中都有用处，如在医疗，电子，结构材料，过滤器，燃料电池研究等。

　　掺杂有1-2%的金属粒子如镍和钴的石墨激光刻蚀技术能产生纳米管材料，称为单壁纳米管（SWNTs）和单壁纳米突（SWNHs）。这些短脉冲激光器只有几十瓦特的功率，和很低的汽化率，大约0.2克/小时。

　　研究人员Dave Geohegan和Alex Puretzky在橡树岭国家实验室（ORNL）研究了持续时间长的脉冲商业YAG激光器，用于高产量的SWNT 和SWNH生产。他们发现这些激光器生产纳米材料的速度为大约为科学激光器速度的60倍。

图1 纳米管生产

　　脉冲YAG激光器能为纳米管生产提供必要的脉冲能量和峰值功率。光纤传输发送激光能量到目标处，使其易于集成，并使目标处的能量密度保持均匀。分时多路复用技术能将激光能量传到多个目标，并得到充分利用。JK600激光器产生高峰值功率和高平均功率适合高速生产。

　　单壁纳米突（SWNHs）是封闭外壳，单壁碳纳米结构，是室温环境下纯石墨激光汽化形成的。这是在GSI集团在诺什维尔的测试部门由D. Geohegan和A. Puretzky博士在橡树岭国家实验室研制成功的。

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