JK激光器在半导体行业应用汇总

2012-07-15 05:12

　　零切缝宽度玻璃分割(eCO2)

　　平板显示器市场（TFT和PDP）规模的增长，以及显示器本身尺寸的扩大，突出了激光技术的优势。激光被用来将玻璃基板分割成面板所需的尺寸。

　　分割玻璃基板时采用了特殊技术，使它不会象切割过程那样导致一些玻璃材料被切除。交互作用的激光在玻璃基板内部不断累积应力，直至形成可控的、干净的裂痕。裂痕如此的干净，以致如果不将玻璃各部分分开，一段时间后，它们会重新熔合到一起。

　　这项操作不产生碎屑不会污染平板，切割边缘光滑，不产生裂痕。平板在进一步生产加工中会更结实，不容易断裂。

　　对激光的要求是激光模式质量和功率输出的精细控制，这可以使分割结果始终如一。

图3 零切缝宽度玻璃分割(eCO2)

　　在需要大量生产的情况下，激光器要以最小的维护需求和高度可靠性实现长时间的工作。

　　GSI集团的eCO2系列密封型直流激励CO2激光器满足了这些要求，并且很容易被集成到新一代FPD加工系统中。

　　直流激励CO2激光器光电效率高，运行成本经济实惠。因为它能单相供电，热负荷低，使得所需的制冷量最小化。这些激光器易于安装，所有这些特点都使它成为现有工厂设施中理想的选择。

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