大族激光主要专利技术汇总(二)
18、四次谐波紫外激光器
申请(专利)号: CN200610157264.3 申请日:2006.12.04 申请公布号: CN101197488 申请公布日: 2008.06.11
本发明揭露一种四次谐波紫外激光器,包括至少一非线性晶体、至少一镜片,非线性晶体和镜片上镀有膜层,包括移动装置,当激光器的激光光路通过非线性晶体或镜片时,对非线性晶体或镜片上一个位置的膜层破坏时,移动装置可移动非线性晶体或镜片,使非线性晶体或镜片变换位置对准激光光路。本发明通过设计几种小型精密的位移或旋转结构,改变深紫外光束光斑在膜层上的工作位置。同时由光束大小划分出可移动数目,依次进行移动。由此合理全面地利用整个晶体及镜片上可用膜层:当一个位置的膜层破坏了之后可以在光学精度允许的范围内自动移动至另一个可使用的位置,可使四次谐波紫外激光器寿命可以呈几何数列的倍数增加。
19、激光应用光学fθ镜头
申请(专利)号: CN200610063705.3 申请日:2006.12.30 申请公布号: CN101210997 申请公布日: 2008.07.02
本发明公开一种激光应用光学fθ镜头,包括三个透镜,第一透镜为双凹型负透镜,第二透镜为平凸型正透镜,第三透镜为弯月型正透镜;其中各透镜的光焦度与系统的光焦度比率符合以下要求:-0.65<f1/fw<-0.55,0.65<f2/fw<0.75,1.3<f3/fw<1.5,其中f1为第一透镜的光焦度,f2为第二透镜的光焦度,f3为第三透镜的光焦度,fw为整个系统的光焦度。本发明光学系统采用三个透镜布局成“负-正-正”分离的光焦度系统,使系统的像散和场曲得到很好的校正,在全视场上成像均匀,没有渐晕存在。
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