2012年9月激光“十大技术”
6、Spectra-Physics紫外激光切割玻璃
伴随着诸如平板电视、智能手机GPS导航仪等各种消费电子产品的广泛普及与蓬勃发展,激光玻璃加工工艺被越来越多的应用到了上述产品的生产制造中,其原因在于激光玻璃切割拥有高产量、低成本,加工图形灵活多样等其他工艺所无可替代的优势。
激光加工可以适用于从低成本的钠钙玻璃到高品质的硼硅酸盐玻璃等种类繁多玻璃类型。切割要求包括基本的直线切割、单体划分,以及简单、复杂的几何图形,该工艺的难度挑战在于提高产能,减少熔化,防止微裂纹的形成等。
Spectra-Physics Pulseo系列355nm 紫外调Q激光器,非常适合于玻璃切割。其光斑可聚焦到<10μm,加工过程配备高速扫描振镜,可使热积累降低到最小,从而减小了被加工玻璃的热负荷; Pulseo激光器的短脉冲宽度,使得被切割玻璃的热损伤最小化,并有效地阻止了微裂纹的产生。
Spectra-Physics 的工业激光应用实验室专门针对玻璃切割应用开发了新工艺,可切割1mm厚的钠钙玻璃以及100-200μm厚度的Schott D-263硼硅酸盐玻璃等。高速钻切工艺在1mm厚玻璃上切割Φ2mm的圆孔仅用时6秒。对于较薄的硼硅酸盐玻璃,直线及曲线的平均切割速度可达20mm/s。
扫描电镜照片显示Pulseo激光器在200μm厚Shott D-263硼硅酸盐玻璃切割中获得了很高质量,没有可见的微裂纹存在。对于1mm厚钠钙玻璃切割,切割面轮廓清晰干净,锥度小。
对于100μm厚的Shott D-263玻璃,切割速度可高达到40mm/s。采用短脉冲激光工艺使得玻璃薄片上面在不微裂纹产生的前提下,切割较为尖锐的角度成为了现实。
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