EUV光刻
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上海光机所在EUV和软x射线分束器方面首次取得进展
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线分束器的设计与实验验证，该研究有望解决极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的分束器受限问题。
激光 2024-04-16 -
上海光机所在EUV和软x射线聚焦光场阵列调控和整形方面首次取得进展
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线聚焦光场的阵列调控与整形，解决了极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的元器件受限问题。
激光 2024-03-06 -
国产16振镜头钙钛矿高速激光刻蚀成套设备完成交付
近日，武汉元禄光电技术有限公司（以下简称“元禄光电”）设计研发的1000×1650mm大尺寸钙钛矿P1／P2／P3成套激光划线设备在客户端实现交付，本设备主要应用于第三代大尺寸钙钛矿薄膜太阳能电池的精
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明年交付！德国光电巨头“押宝”半导体电子束光刻系统
近日，德国光学组件和传感器系统供应商——业纳（Jenoptik）宣布，正在为在建中的德累斯顿高科技工厂投资配备一套最先进的电子束光刻系统系统，投资金额高达数百万欧元。
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国产首台套在线高速激光刻痕设备通过中钢协评价
“该项目成果属国产首台套在线高速激光刻痕设备，填补国内空白，整体技术达到国内领先水平”。12月22日，在广州由中国钢铁工业协会主持的、由广州翔声智能科技有限公司（以下简称翔声智能）完成的“取向硅钢在线高速激光刻痕设备关键技术及应用”科技成果评价会上，评价委员会得出以上评价结论
激光刻痕设备 2023-12-28 -
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拨款100亿美元！美国纽约州将建NA极紫外光刻中心
美国纽约州宣布与IBM、美光、应用材料和东京电子等公司合作，共同投资100亿美元扩建纽约州的奥尔巴尼纳米技术综合体，最终将其打造成一个高数值孔径极紫外（NA - EUV）光刻中心。
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理化所在飞秒激光无掩膜光刻拓扑结构及细胞球浸润机制方面取得进展
近日，中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室研究员郑美玲团队在跨尺度微纳拓扑结构制备及细胞球浸润性调控方面取得了新进展。
激光 2023-05-17 -
理化所在飞秒激光无掩膜光刻拓扑结构及细胞球浸润机制方面取得新进展
中科院理化所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室郑美玲研究员团队近日在跨尺度微纳拓扑结构制备及细胞球浸润性调控方面取得了新进展。该团队提出采用飞秒激光无掩膜投影光刻技术（MOPL）制备大面积兼具高精度的微盘阵列拓扑结构以研究细胞球的浸润性。
激光 2023-05-06 -
理化所在飞秒激光无掩膜光刻拓扑结构及细胞球浸润机制方面获进展
随着组织工程领域的发展，生物材料界面与细胞的相互作用及物理机制成为研究热点。生物界面的拓扑形貌可以有效调控细胞行为并影响细胞功能。而体内的一些生理过程如胚胎发育、免疫应答和组织更新与重塑等往往涉及多细胞的集体行为
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德国开发出紧凑型EUV激光模块：平均功率10毫瓦，成本效益更高
德国研究人员开发出了一种紧凑的极紫外（EUV）激光模块——可以用来产生特殊的EUV光，它不仅打破了以往EUV光实验只能在昂贵的大型研究设施中进行的限制，还带来了更高的成本效益。
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新型EUV激光束面世：峰值功率接近兆瓦，可产生纳米级光波
美国研究小组通过发射飞秒激光并使之穿过充满气体的波导，成功地生成了非常紧凑、功率强大的极紫外辐射（EUV）光束。其峰值功率接近兆瓦，产生纳米级的光波，但整个设备可以放在一个中等大小的桌子上。
激光 2023-02-28 -
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日本科学家研发超快激光结构技术，可替代光刻技术生产晶体管
通过使用钛:蓝宝石（Ti：Sapphire）激光和中红外自由电子激光来构造硅，日本科学家们已经证明了激光诱导的周期性表面结构(LIPSS)是如何随激光性质而发生变化的。
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宇微光学完成数千万元A轮融资 致力于光刻掩模优化设计技术与软件的自主开发
近日，武汉宇微光学软件有限公司（以下简称“宇微光学”）宣布完成A轮数千万融资，致道资本联合武汉光谷产业投资、烽火创投三家机构共同参与投资。本轮融资完成后，宇微光学将进一步加强各核心模块的集成化与软件产品化，同时对各项软件参数进行标定、测试与验证
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三星与ASML达成协议：采购下一代 High-NA EUV 光刻机，单价近 26 亿元
6 月 30 日消息，据 BusinessKorea 报道，三星电子副董事长李在镕于 6 月中旬结束了对欧洲的商务访问，此行他与 ASML 公司就引进该荷兰半导体设备制造商的下一代极紫外（EUV）光刻设备进行了会谈。
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ASML新品光刻机:intel锁定 冲击2nm工艺
ASML光刻机就目前来看，其拥有着芯片研究部最核心的激光设备——光刻机，并且，对于EUV后台零配件早已形成一套标准供应链闭环，这也是ASML公司全球最大半导体设备制造商原因之一。
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科视光学完成近4亿元C轮融资，加速PCB、光伏及半导体领域光刻项目量产
近期，高端光学装备及机器视觉光源厂商科视光学完成了近4亿元C轮融资，本轮融资由中芯聚源、民生股权投资基金、洪泰基金联合领投，产业投资方鑫睿资本、分享投资等跟投。云岫资本担任本轮融资独家财务顾问。科视光
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激光材料市场规模2028年将达20亿美元，光刻成一大推动力
最新报告显示，激光材料市场在2021年预计为18亿美元，到2028年有望达到约20亿美元的估值，2022-2028年间以5.8%的复合年增长率发展。激光材料市场的增长是由光刻技术的激增需求、各种终端垂直领域激光的不断增长以及军事工业的增长所驱动的。
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南京理工大学激光直写无掩模光刻机曝光机采购公开招标
项目概况激光直写无掩模光刻机曝光机采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取获取招标文件，并于2022年05月10日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：ZZ0023－G22
激光直写无掩模光刻机曝光机 2022-04-08 -
国望光学光刻机曝光系统生产基地项目获新进展，三家企业位列中标候选人
北京市公共资源交易服务平台日前发布《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目洁净工程中标候选人公示》，四联智能技术股份有限公司等三家企业位列中标候选人。公开资料显示，该生产基地建设单位为北京国望光
投影光刻机曝光光学系统 2022-03-08 -
氖气价格大涨！这种光刻机原材料供应受限，半导体供应链警报再拉响
俄乌开火引发全球关注，给芯片行业带来了巨大的风险，并加剧了当前供应链的紧张局面。所谓牵一发而动全身，你可能想不到的是，这也与激光行业产生了一定的关联：这种用于光刻机的光刻气体，就是大部分主流光刻机“光源”不可或缺的一种重要原材料。
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里程碑！通快第200台EUV光刻机光源已发货
德国通快集团在不久前完成了第200台EUV光刻机光源的发货。通快预计，在2022财年EUV业务销售额将大幅增加到6亿欧元。
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全球光刻机龙头ASML 2021全年销售额186亿欧元
1月19日，全球光刻机龙头ASML 公布了其2021年第四季度和2021全年的业绩。第四季度净销售额为50亿欧元，毛利率为54．2％，净收入为18亿欧元；2021年净销售额为186亿欧元，毛利率为52．7％，净收入为59亿欧元
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Intel全球首个下单订购ASML最先进EUV光刻机
1月19日，Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE：5200光刻机。TWINSCAN EXE：5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）
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日立子公司推出用于EUV 3nm和5nm工艺的电子束检测系统
日立科学仪器宣布开发其电子束区域（Electron Beam Area）检测系统。该公司正逐步将EUV应用于5nm节点器件的量产和3nm节点器件的开发。
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科创板IPO折戟，光刻机产业链一员的茂莱光学仍大有可为
茂莱光学主要产品覆盖深紫外DUV、可见光到远红外全谱段，主要包括精密光学器件、高端光学镜头和先进光学系统三大类
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曾购买2台光刻机的京华激光为何股价单日下跌6%？
6月21日，浙江京华激光科技股份有限公司股票突然停牌，6月22日复牌后低开低走，最终报收14.73元，跌幅达6.06％。2020年6月，京华激光宣布已经从子公司美国菲涅尔签约引进两台光刻机。
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