“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办，OFweek维科网·激光承办，活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物，鼓励更多企业投入技术创新，同时为行业输送更多创新产品、前沿技术；以提高生产力、经济效益；给用户提供更大便利；引导行业良性快速发展。

本次评选活动2022年8月10日－8月20日为网络投票阶段，并将于9月27日在中国·深圳举行盛大的颁奖典礼。

目前，活动正处于火热的报名申报阶段，业内企业均积极响应。目前，深圳市大族半导体装备科技有限公司已经正式参评“维科杯·OFweek 2022年度激光行业精密激光设备/仪器创新奖”。

企业简介

深圳市大族半导体装备科技有限公司专业聚焦为LED、面板、半导体等泛半导体行业提供系统加工和智能化车间解决方案。大族半导体主要研究蓝宝石、玻璃、陶瓷、硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓和柔性薄膜等材料的加工工艺，提供从精细微加工，到视觉检测等一系列自动化专业装备。目前公司在职员工逾千人，研发人员占50%左右，汇聚了十多位来自以色列、韩国和中国台湾地区的行业技术专家、AI图像处理算法专家，保证相关技术在行业中领先地位，2021年销售收入逾14亿元。

参选奖项：维科杯·OFweek2022年度激光行业应用案例奖

参选产品：晶圆芯片AOI检测设备

产品扼要说明：该设备适用于8寸&12寸 bare wafer和frame wafer的2D宏观缺陷检测、尺寸测量和3D Bump测量，可实现对晶圆各种特征的多维度检测。

1、快：● 成像质量:使用最先进的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描；

● 量测集成包：大族半导体是第一家使用量测集成包的公司，能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案；

2、准：● 光学系统:使用自主先进的大视野显微镜，配有高级照明系统和即时聚焦技术；● 缺陷查找：使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异；● 直线高精电机，XYZ平台, 100纳米分辨率；● 机械结构200纳米精度；

3、稳：● 洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)；● 浮式基座平台减小设备震动影响。

参选述说/理由：

● 具有以色列团队多年的半导体外观检测行业经验；

● 自主研发的光学组件，具备更快、更准的检测优势；

● 2D、3D、量测为一体，融入深度学习技术，具有领先地位；

● 全球服务快速响应团队。

大族半导体洞悉中国半导体检测市场需求，凭借在LED行业的检测技术经验积累，同时以以色列子公司NEXTEC作为平台，延揽以色列资深视觉检测应用研发人才，组建了一支集合中以优秀检测技术专家的实力雄厚的研发团队。结合以色列团队在半导体检测领域的强劲实力、丰富经验，大族半导体紧跟国内客户需求，将快速推进半导体晶圆检测设备的国产化进程。