通快专访：光纤碟片激光器孰优孰劣？为何能占领EUV光刻机光源市场？

2020-07-16 14:55

碟片激光器VS光纤激光器：面对不同应用场景各有优势

通快的碟片激光器技术全球领先，而SPI则在光纤激光器市场有着良好的口碑和技术实力，两种技术方案的结合怎么解决用户的疑问？两种技术又各自有什么特点呢？对于这样的疑问，黄哲向OFweek激光网给出了自己的答案。

众所周知，光纤激光器的模块化结构使其在功率实现上具有极大优势，可以形成百瓦、一千瓦、两千瓦这样很细的不同功率的产品线，同时光纤耦合技术的成熟也使得功率上万变得非常容易，目前市面上已有多家企业推出3万瓦甚至更高功率的光纤激光器产品。同时，光纤激光器的光束质量较好，在切割应用上有明显优势。目前激光在工业市场上应用最广的是金属切割，而这一领域对加工精密度要求不高，但对效率、成本要求较高，因此更为灵活的光纤激光器在这一市场有着无与伦比的优势。

灵活性方面光纤激光器占优，但功能性方面碟片激光器则有明显优势，能够实现很多光纤激光器难以实现的功能。例如绿光激光器，光纤激光器需要通过腔外倍频把红外光变成绿光，技术难度很大但碟片激光器可直接在腔内进行倍频，功率也更稳定。此外，碟片激光器的传输光纤可以即插即拔，最大化地减少了客户的停工成本，这都是碟片激光器对比光纤激光器来说独有的优势。

通快发布2kW高功率高亮度连续绿光碟片激光器

图片来源：通快

更为重要的一点是碟片激光器的功率稳定性。黄哲表示：“我们可以向客户保证，在碟片激光器产品的整个使用寿命周期内（从使用的第一天到报废，不仅是质保期），始终保持±1％的出光稳定性。这主要是因为通快的碟片激光器内部有一个闭路的功率控制循环，这是光纤激光器做不到的，技术路线的差别决定了产品的优势。”

对于碟片激光器和光纤激光器的优势，黄哲总结说：“我认为碟片和光纤是两种技术路线，都有各自的强项和弱项。每个客户的需求不同，比如汽车行业对稳定性、一致性要求更高，更适合使用碟片激光器。但在切割领域，它需要尽快收回投资成本，对加工精密度要求不高，这时光纤激光器激光器更有优势。而通快恰恰结合了这两种优势，既有通快自身的碟片激光器，又有SPI的光纤激光器，产品线很齐全，可以根据客户需要提供最合适的产品，既可以高大上，也可以接地气。”

3万瓦CO₂激光放大器为何能独占EUV光刻光源市场

提到通快的黑科技，不得不提到供应ASML、用于EUV光刻机的独门光源——3万瓦CO₂激光系统。EUV光刻是光刻机发展的第五代技术，也是目前最先进的技术。前四代光刻机使用都属于深紫外光（准分子激光器产生UV激光束），但在摩尔定律的推动下，半导体产业对于芯片的需求已经发展到5nm，甚至是3nm，浸入式光刻面临更为严峻的镜头孔径和材料挑战。可将最小工艺节点推进至5nm、3nm的第五代 EUV光刻机成了半导体行业不可或缺的重磅武器。